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產品關鍵詞:上海鋁材減薄機設備,減薄機
***更新:2021-02-04 10:14:32
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詳細說明
多工位減薄機工件軸包括負壓吸盤、負壓吸盤驅動軸和固定連接驅動軸上的工件軸齒輪,負壓吸盤底部設置有氣管旋轉接頭。對接驅動機構包括固定座、支撐塊、工件軸驅動電機、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅動主齒輪和驅動從齒輪,其中,工件軸驅動電機安裝在固定座上,齒輪軸與工件軸驅動電機的輸出軸連接,驅動主齒輪固定在齒輪軸上,擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上,且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動,驅動從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉動,驅動從齒輪與驅動主齒輪嚙合連接,擺齒齒輪座在遠離驅動從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧,上海鋁材減薄機設備,上海鋁材減薄機設備,支撐塊上安裝有用于對擺齒齒輪座擺動時位置進行限定的限位裝置。減薄機吸盤裝置,上海鋁材減薄機設備,其解決了脆性材料難磨削的問題,使用方便、安全。上海鋁材減薄機設備
硅片酸洗減薄機通過旋轉提籃帶動硅片在裝有酸液的箱體內旋轉,旋轉的同時實現減薄,對于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復性和穩定性,提高了極終成品率;旋轉提籃的圓柱狀圍籠對硅片具有盛裝并固定位置的作用,防止由于硅片在圍籠內晃動導致碎片,安全可靠;由于圓柱狀圍籠底部沿其長度方向均勻設有多個隔棱,則可實現大量硅片的同時裝夾,實現硅片減薄的批量生產,明顯提高了工作效率,同時也方便了對硅片的夾裝工作,一致性好;伺服電機可帶動旋轉提籃在一定周期內交替正、反轉,明顯增強硅片表面的減薄均勻性;當減薄機研磨拋光后厚度均勻性較差時,我們要用平面度測量規測量盤面,用小塊的砝碼重力修正。上海鋁材減薄機設備伺服電機可帶動旋轉提籃在一定周期內交替正、反轉,明顯增強硅片表面的減薄均勻性。
在顯示屏制作工藝中增加減薄工藝,通過物理和化學方法使顯示器厚度達到輕薄化的目的,目前玻璃化學腐蝕工藝主要使用氫氟酸混合物對液晶玻璃進行減薄,減薄時使用刻蝕液的刻蝕方式有浸泡式、液晶玻璃雙面噴灑式以及以及單面的瀑布流式,由于浸泡式、液晶玻璃雙面噴灑式都具有刻蝕后表面不光滑的現象,所以越來越多的使用瀑布流式。現有技術對于液晶玻璃減薄,液晶玻璃的刻蝕工藝以及清洗工藝是分開操作,操作過程較為繁瑣,噴灑機構滿足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蝕,為此,我們提出一種集刻蝕工藝以及清洗工藝為一體的適用于瀑布流式玻璃減薄的液晶玻璃減薄機來解決上述問題。
在LED芯片的制作流程中,將厚片減薄是關系到成品極終良率的關鍵,所謂厚片,是指經過前道工序但未經過厚度減薄處理的晶圓片。減薄工藝主要是利用自動減薄機將晶圓片的藍寶石襯底部分減薄。自動減薄機通常包括:工作臺和砂輪,其中,工作臺上先放置陶瓷盤,再將厚片通過蠟粘貼在陶瓷盤上,砂輪用于磨削厚片,砂輪與工作臺反向旋轉。為了保證減薄后晶圓片的厚度及粗糙度達到要求,減薄過程通常分段進行,每段設置不同的工藝參數以及目標厚度,經過多段減薄極終達到工藝要求。在這過程中,對于晶圓片厚度的檢測,是在每段減薄完成后自動減薄機停下來才進行測量的。減薄機由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅動組件、絲桿進給組件等組成。
晶圓減薄機,是在制作集成電路中的晶圓體減小尺寸,為了制作更復雜的集成電路。集成電路制造技術的進步首先來源于市場需求的要求,其次是競爭的要求。在集成電路制造中,半導體硅材料由于其資源豐富,制造成本低,工藝性好,是集成電路重要的基體材料。從集成電路斷面結構來看,大部分集成電路是在硅基體材料的淺表面層上制造。由于制造工藝的要求,對晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結構提出比較高要求。因此在幾百道工藝流程中,不可采用較薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片。全自動減薄機是配有全自動上、下片系統的高精度研削設備。上海鋁材減薄機設備
橫向減薄機可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。上海鋁材減薄機設備
硅片酸洗減薄機箱體內支撐有旋轉提籃,旋轉提籃由兩個圓形固定板、橫向連接于兩個圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設于兩個圓形固定板外側面的轉軸及提手組成,圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成,半圓狀籠蓋的開口側邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接,圍籠本體底面均勻間隔設置多個隔棱,箱體外側一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機,伺服電機的電機軸通過傳動機構與旋轉提籃的轉軸相連,箱體的內側壁上另固定有循環水管。結構設計合理、操作方便,實現硅片單面化學減薄,不生產批量大,而且提高了成品率,節省資源,降低生產成本。減薄機減薄后厚度均勻性需要對砂輪進行修平,校正砂輪環中心固定螺母及球軸承主軸。上海鋁材減薄機設備
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