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廣州CVD管式爐操作規(guī)程 **** 深圳市迪斯普設(shè)備供應(yīng)

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所在地:廣東省

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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:廣州CVD管式爐操作規(guī)程,爐

***更新:2021-02-04 11:21:24

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深圳市迪斯普設(shè)備有限公司

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詳細說明

    多溫區(qū)管式爐注意事項:1.多溫區(qū)管式爐操作注意事項爐子初次使用或長時間不用后,要在120度左右烘爐1小時,在300度左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,廣州CVD管式爐操作規(guī)程。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2.禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,廣州CVD管式爐操作規(guī)程,廣州CVD管式爐操作規(guī)程,保護顱內(nèi)清潔。3.爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動爐體,4.冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不宜過快,各種溫度段的升溫速率差別不宜太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛,5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接是否緊固。6.硅鉬棒作為加熱元件時不宜在400-700度溫度段長時間運行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。7.硅鉬棒做加熱元件時,長時間運行,阻值會逐漸增大,這種現(xiàn)象叫“老化”。 箱式爐爐體經(jīng)精致噴塑耐腐蝕耐酸堿,爐體與爐膛隔離采用風冷爐壁溫度接近室溫。廣州CVD管式爐操作規(guī)程

廣州CVD管式爐操作規(guī)程,爐

    多溫區(qū)管式爐注意事項:1.多溫區(qū)管式爐操作注意事項爐子初次使用或長時間不用后,要在120度左右烘爐1小時,在300度左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2.禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保護顱內(nèi)清潔。3.爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動爐體,4.冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不宜過快,各種溫度段的升溫速率差別不宜太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛,5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接是否緊固。6.硅鉬棒作為加熱元件時不宜在400-700度溫度段長時間運行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。7.硅鉬棒做加熱元件時,長時間運行,阻值會逐漸增大,這種現(xiàn)象叫“老化”。                                     廣東馬氟爐用途PECVD管式爐當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。

廣州CVD管式爐操作規(guī)程,爐

    立式爐保養(yǎng)編輯在鍋爐長期停用時,應(yīng)十分注意爐體外部的防腐保養(yǎng)問題。首先在鍋爐停爐冷卻后,必須徹底清理受熱面的積灰和爐排上部、爐體下部的灰渣。然后要保持煙道有一定的自然通風。一般情況下,為了防潮應(yīng)在爐膛、煙道中放置干燥劑。如以生石灰作為干燥劑,則每立方米爐膛或煙道內(nèi)一般應(yīng)放置3kg左右。放置后應(yīng)嚴密關(guān)閉所有的通風門。生石灰變粉后要更換。如鍋爐房位置低洼,停爐期間地面泛潮嚴重時,則應(yīng)采用經(jīng)常小火烘烤和放置干燥劑相結(jié)合的辦法。如果鍋爐停爐時間很長,在徹底清理煙灰后在爐體金屬外表面涂以紅丹油或其它防腐漆。至于爐體內(nèi)部停爐的防腐保養(yǎng)方法,則要按停爐時間的長短來定。一般情況下,停爐不超過一個月的可用濕法保養(yǎng),一個月以上的應(yīng)采取干法保養(yǎng)。   

PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達到表面鈍化和體鈍化的目的。              CVD管式爐要定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好。

廣州CVD管式爐操作規(guī)程,爐

    立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。                馬弗爐按加熱元件區(qū)分有:電爐絲馬弗爐、硅碳棒馬弗爐、硅鉬棒馬弗爐。廣東馬氟爐用途

PECVD管式爐在使用時氣體預熱——增加前端氣體預熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好。廣州CVD管式爐操作規(guī)程

我國工業(yè)通過供給側(cè)更改逐步完成了產(chǎn)能去化,機械及行業(yè)設(shè)備業(yè)粗放式投錢的時代已經(jīng)過去,傳統(tǒng)制造業(yè)升級趨勢明顯。設(shè)備行業(yè)與下游制造業(yè)投錢需求緊密相關(guān),具有較強的周期屬性,機械及行業(yè)設(shè)備公司往往被貼上周期股的標簽。機械企業(yè)常常利用虛擬制造技術(shù)來提升反應(yīng)能力,而虛擬制造技術(shù)也是機械制造領(lǐng)域中**重點的技術(shù)。對現(xiàn)代化有限責任公司企業(yè)來說,具備敏捷的反應(yīng)能力是未來努力的方向。在我國經(jīng)濟步入發(fā)展新常態(tài)后,鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機行業(yè)也處于新舊增長模式轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵時期,實施轉(zhuǎn)換的獨一途徑是依靠科技創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展。生產(chǎn)型企業(yè)圍繞生產(chǎn)源頭、制造過程和產(chǎn)品性能三個方面加強科技研發(fā),應(yīng)用制造工藝,實現(xiàn)綠色制造。推廣節(jié)能低碳技術(shù),采用制造工藝,發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟,形成低加入、低消耗、低排放的業(yè)態(tài)模式,實現(xiàn)低碳制造。廣州CVD管式爐操作規(guī)程


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