完成p-光刻注入。其中，購物車壓力傳感器報價，在完成p-光刻注入的si襯底正面進行n+光刻注入；在完成p-光刻注入的si襯底正面光刻n+隔離區圖形，注入p離子形成n+隔離區，去除n+隔離區上的光刻膠，完成n+光刻注入。其中，在完成n+光刻注入的si襯底正面進行p+光刻注入，包括：在完成n+光刻注入的si襯底正面光刻p+低阻區圖形，注入b離子形成p+低阻區，再去除p+低阻區上的光刻膠，完成p+光刻注入。上述方案中，對注入摻雜后的si襯底進行金屬布線，包括：對去除氧化層的si襯底進行介質層淀積，然后在介質層上光刻接觸孔圖形并刻蝕接觸孔；在介質層上金屬布線，蒸發淀積一層al，之后光刻金屬布線圖形，購物車壓力傳感器報價，刻蝕al，去除光刻膠；對刻蝕al后的si襯底正面淀積鈍化層，然后光刻打線孔圖形并刻蝕出打線孔，去除光刻膠；用有機溶液對si襯底進行泡洗并合金使金屬與低阻區形成歐姆接觸。上述方案中，對完成金屬布線后的si襯底進行背面光刻刻蝕，得到感壓膜片，包括：對si襯底的背面光刻，依次法刻蝕背面sin、sio2，購物車壓力傳感器報價，刻蝕掉背面保護層中間準備刻蝕背腔的部分，留兩側背面保護層作為之后干法刻蝕的掩膜；以背面兩側的保護層作為掩膜，刻蝕si襯底的背腔，刻蝕后膜片圖形為方形或圓形。

    夾緊聯接夾緊聯接是建立在摩擦型鎖緊的基礎上，根據設計和應用要求的不同，CONHON建議此類聯接用于徑向緊力單一的場合，這里對傳感器軸端的要求也是比較嚴格的。法蘭螺栓鎖緊法蘭聯接是在CONHON扭力傳感器上通過摩擦鎖緊而施加扭力，這不僅確保了法蘭傳導超大扭力時不會有任何問題，而且特別重要的是-------動態扭力被正確的施加在了扭力傳感器上。緊固螺栓被按一定的間隔均勻的分布在法蘭上，以確保壓力的均勻，所有的扭力能夠作為一個整體進行傳輸。緊固螺栓的數量取決于扭力傳感器的額定扭力，由于需要進行標準化，法蘭扭力軸上的螺栓孔遠比實際需要的要多。這種情況下，一些孔位就被空閑出來，但必須間隔相同的孔位插入緊固螺栓。帶軸承的扭力傳感器對于帶軸承的扭力傳感器定子，由軸承將彈性體在軸向和徑向進行固定，這種形式被使用在:運行速度能夠在滾珠軸承的承受范圍之內很多軸式扭力傳感器的設計必須帶有軸承后一種情況基本適用于帶滑環的軸式扭力傳感器。T20WN型號的軸式傳感器則**減少了非接觸式傳輸測量信號和供電電源時所需要的成本。由于傳輸的間隙非常小，這使的電源傳輸不會改變。當正確的安裝扭力，把要測的扭力應用到指定的位置(測量點)。

    帶軸承的軸式扭力傳感器的定子只要很輕的力就可以防止它轉動，內置的軸承通常只支撐定子的重量，因此軸承不會受到很大的磨損。然而，根據相關設備的聯接類型，軸承的負載能力也是會被標出的，其中一邊會讓其作為支撐軸承使用。特質的低摩擦系數的軸承可以保證其在很長一段時間內免維護運行(T20WN的運行時間至少為20,000小時以上)。非接觸式和無軸承的扭力傳感器在高速運行的扭力傳感器，定子和旋轉測量彈性體是沒有任何機械接觸的。測量彈性體被恰當的安裝在軸系中，定子則被安裝在臺架上。由于結構中沒有了磨損件，所以除了光學的測速系統意外，扭力傳感器是免維護和無磨損的。在運輸過程中，一些緊固件環繞在T32FN的定子上，以保證傳感器的運輸安全并在安裝過程中起到輔助作用。T34FN也有一些對中元件在裝備中起到一定的輔助作用。同樣，輔助裝配也被在T10FS的法蘭式扭力傳感器上得到應用。輔助裝配不會導致定子和轉子在安裝后變形或拉伸。

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