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皮拉尼真空傳感器F6000產品描述F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了一個突破性的真空測量方案。該傳感器外形微小，同時又具有**功耗，長壽命，低現場維護，和低成本的優點。依據“氣體熱導系數與低真空范圍壓力成正比”的原理，F6000系列真空傳感器測量加熱元件上由于傳熱到周圍的氣體而導致的細微的電阻變化。該加熱元件（即測量電阻）是由一個置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構成。隔熱膜懸覆在一個微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以確保精密測量傳熱率。由于被測氣體體積極小（即空腔容積小），煒盛傳感器能夠提供**的功耗和快速的響應時間。F6000系列真空傳感器還提供了一個與測量電阻具有相同電阻溫度系數（TCR）的基準電阻，布置在傳感器芯片基板上。傳感器電路可用它來進行環境溫度補償。由于具有可靠性高，成本低，使用簡便和**功耗的逐項優點，采用MEMS工藝加工的，微型化的皮拉尼技術正在成為一個行業標準。F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器可以幫助客戶充分利用這一趨勢，以改善其現有的產品和開發新的產品。皮拉尼真空傳感器F6000***比較大指標：工作溫度：-40C至125C（可提供更高溫度型號）濕度：0到100％RH。

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