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詳細(xì)說明
太陽能電池片加工中的摻雜與擴散原理的原理:
半導(dǎo)體的摻雜擴散,主要是依靠了離子從高濃度像低濃度區(qū)域擴散的原理。在太陽能的硅片中,把雜質(zhì)原子的氣相源靠近硅片,北京焊帶太陽能電池片廠家,加熱后,使其慢慢擴散,北京焊帶太陽能電池片廠家,雜質(zhì)原子會慢慢的深入硅片中,濃度從硅片邊緣到內(nèi)部是逐漸降低的,北京焊帶太陽能電池片廠家。
半導(dǎo)體中的摻雜是指在半導(dǎo)體硅中摻入磷或鎵可以得n型或p型半導(dǎo)體材料,由此制出各式各樣的半導(dǎo)體器件。在一些無機固體化合物中摻入不同的金屬離子,可以得到不同性質(zhì)的發(fā)光材料,如氧化釔(III)中摻入銪(III)離子可以得到發(fā)紅光的熒光材料。
二、表面制絨
單晶硅絨面的制備是利用硅的各向異性腐蝕,在每平方厘米硅表面形成幾百萬個四面方錐體也即金字塔結(jié)構(gòu)。由于入射光在表面的多次反射和折射,增加了光的吸收,提高了電池的短路電流和轉(zhuǎn)換效率。硅的各向異性腐蝕液通常用熱的堿性溶液,可用的堿有氫氧化鈉,氫氧化鉀、氫氧化鋰和乙二胺等。大多使用廉價的濃度約為1%的氫氧化鈉稀溶液來制備絨面硅,腐蝕溫度為70-85℃。為了獲得均勻的絨面,還應(yīng)在溶液中酌量添加醇類如乙醇和異丙醇等作為絡(luò)合劑,以加快硅的腐蝕。制備絨面前,硅片須先進(jìn)行初步表面腐蝕,用堿性或酸性腐蝕液蝕去約20~25μm,在腐蝕絨面后,進(jìn)行一般的化學(xué)清洗。經(jīng)過表面準(zhǔn)備的硅片都不宜在水中久存,以防沾污,應(yīng)盡快擴散制結(jié)。
五、等離子刻蝕
由于在擴散過程中,即使采用背靠背擴散,硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地擴散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會沿著邊緣擴散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面,而造成短路。因此,必須對太陽能電池周邊的摻雜硅進(jìn)行刻蝕,以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝。等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下,反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下,產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成,反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下,除了轉(zhuǎn)變成離子外,還能吸收能量并形成大量的活性基團?;钚苑磻?yīng)基團由于擴散或者在電場作用下到達(dá)SiO2表面,在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面,被真空系統(tǒng)抽出腔體。
文章來源地址: http://www.qyzv.cn/cp/331767.html
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