關(guān)鍵詞：力矩傳感器扭矩傳感器扭力傳感器轉(zhuǎn)矩傳感器扭矩儀力矩傳感器又稱扭矩傳感器、扭力傳感器、轉(zhuǎn)矩傳感器、扭矩儀，分為動態(tài)和靜態(tài)兩大類，作用是對各種旋轉(zhuǎn)或非旋轉(zhuǎn)機(jī)械部件上對扭轉(zhuǎn)力矩感知的檢測。扭矩傳感器將扭力的物理變化轉(zhuǎn)換成精確的電信號。扭矩傳感器可以應(yīng)用在制造粘度計(jì)，電動（氣動，平臺秤壓力傳感器制造，液力）扭力扳手，它具有精度高，頻響快，可靠性好，壽命長等優(yōu)點(diǎn)。扭矩傳感器（力矩傳感器）是一種測量各種扭矩、轉(zhuǎn)速及機(jī)械功率的精密測量儀器。應(yīng)用范圍十分***，主要用于：1、電動機(jī)、發(fā)動機(jī)、內(nèi)燃機(jī)等旋轉(zhuǎn)動力設(shè)備輸出扭矩及功率的檢測；2、風(fēng)機(jī)、水泵、齒輪箱、扭力板手的扭矩及功率的檢測；3、鐵路機(jī)車、汽車、拖拉機(jī)，平臺秤壓力傳感器制造、飛機(jī)，平臺秤壓力傳感器制造、船舶、礦山機(jī)械中的扭矩及功率的檢測；4、可用于污水處理系統(tǒng)中的扭矩及功率的檢測；5、可用于制造粘度計(jì)；6、可用于過程工業(yè)和流程工業(yè)中；7、可以應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室，測試部門以及生產(chǎn)監(jiān)控和質(zhì)量控制。

    稱重灌裝機(jī)小型稱重標(biāo)簽打印軟稱重托輥稱重灌裝機(jī)的原稱重顯示器賽多稱重玩具稱重打印機(jī)稱重電子吊秤稱重掃碼一體機(jī)稱重打標(biāo)簽稱重電子稱臺秤稱重拉力傳感器稱重方案設(shè)計(jì)稱重顯示器儀表相關(guān)搜索：Aand稱重傳感ABB稱重傳感abb稱重傳感ad稱重傳感器amcellsAMCELLSac稱重傳感器B波紋管稱重傳感波紋管式稱重傳BM稱重傳感器BSSDS型BLH稱重傳感波紋管稱重傳感bongshibss稱重傳感blh稱重傳感不銹鋼稱重傳感C測力稱重傳感器測力稱重壓力傳稱重傳感器稱重CZL型稱重傳傳感器稱重c16a稱重傳測速傳感器稱重celtron傳力稱重傳感器CS6200稱c3b1稱重傳超載稱重傳感器cas稱重傳感C16A稱重傳D電阻應(yīng)變式稱重單點(diǎn)式稱重傳感電梯稱重傳感器電梯稱重傳感器單點(diǎn)稱重傳感器電子皮帶秤稱重dacell稱德國HBM稱重大皮帶秤稱重傳大量程稱重傳感電阻式稱重傳感德國稱重傳感器電阻式稱重傳感大和稱重傳感器F防雷稱重傳感器防爆稱重傳感器法蘭式稱重傳感飛利浦稱重傳感G干粉砂漿罐稱重軌道衡稱重傳感廣州稱重傳感器gd稱重傳感器鋼球稱重傳感器高溫稱重傳感器廣測稱重傳感器高精度稱重傳感軌道衡稱重傳感HHBM稱重傳感韓國cas稱重HBM稱重傳感混凝土攪拌站稱衡器稱重傳感器hbmz6fdhbm稱重傳感HBM稱重測力韓國。

    (一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明的主要目的在于提供一種壓力傳感器制備方法，實(shí)現(xiàn)室溫下的硅硅鍵合，消除了鍵合過程中高溫處理給器件帶來的影響，提高器件的可靠性。(二)技術(shù)方案本發(fā)明提供了一種壓力傳感器制造方法，該方法包括：對si襯底進(jìn)行預(yù)處理；對進(jìn)行預(yù)處理后的si襯底正面進(jìn)行注入摻雜；對注入摻雜后的si襯底進(jìn)行金屬布線；對完成金屬布線后的si襯底進(jìn)行背面光刻刻蝕，得到感壓膜片；進(jìn)行硅硅室溫鍵合，將具有感壓膜片的si襯底與另一si襯底實(shí)現(xiàn)原子尺度的緊密結(jié)合。上述方案中，對si襯底進(jìn)行預(yù)處理，包括：在si襯底正面干氧氧化一層sio2，之后再淀積一層sin，然后干法刻蝕掉正面的sin層，然后濕漂正面sio2層。上述方案中，對進(jìn)行預(yù)處理后的si襯底正面進(jìn)行注入摻雜，包括：對si襯底正面熱氧化，之后進(jìn)行p-光刻注入；在完成p-光刻注入的si襯底正面進(jìn)行n+光刻注入；在完成n+隔離區(qū)的si襯底正面進(jìn)行p+光刻注入；對注入摻雜后的si襯底進(jìn)行高溫推阱操作，實(shí)現(xiàn)注入離子的均勻摻雜，再用緩沖氧化物刻蝕液去除注前氧化層。其中，對si襯底正面熱氧化，之后進(jìn)行p-光刻注入，包括：對si襯底正面熱氧化，之后在si襯底正面光刻p-壓阻圖形，注入b離子形成p-壓阻區(qū)，去除表面上的光刻膠。

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